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壓電式稱重傳感器過載的保護方法
時間: 2024-03-14 15:35:22 瀏覽次數：
壓電傳感器有許多參數指示器，其中之一是過載維護，過載是指超越設備自身額定負載的過載?，F象是電流過大，電氣設備發熱，線路長期過載會降低線路的絕緣程度，以至燒毀傳感器設備或線路；過載維護是指即便負荷超越額定負荷，線路也不會燒壞，但有一定水平，普通為150%，過載運轉不能繼續。
壓電傳感器有多品種型，每種構造的過載維護設計辦法也不同。許多辦法都有各自的優缺陷。采用微機電系統技術的小量程高靈活度壓力傳感器通常有平膜片、島膜片、梁膜等構造，在設計過載維護時通常采用凸點等辦法完成。
構成辦法包括背蝕刻技術、硅直接鍵合技術和玻璃蝕刻技術。但是，這些構造通常具有很大的局限性，由于空腔尺寸大，靈活度進一步遭到限制，并且硅晶片的應用率降低，制造工藝的復雜性增加，并且消費本錢增加。
目前，小量程高靈活度壓電傳感器的研討主要集中在犧牲層構造的壓力傳感器上。這主要是由于犧牲層構造壓力傳感器的彈性膜片很薄，厚度能夠是2m以至更薄。
在這樣薄的構造中，假如采用擴散硅或多晶硅薄膜作為犧牲層構造壓力傳感器的應變電阻，其厚度相對較大，這對彈性膜片的應力散布有很大影響，不利于犧牲層構造壓力傳感器的性能優化。因而，經過運用多晶硅納米薄膜來制造應變電阻器，能夠進一步應用犧牲層技術的優點。
過載維護是每個傳感器都要思索的要素，由于在運用過程中，丈量值可能會大于范圍。只要設計有過載維護的傳感器才干更好地運用，并且能夠運用更長時間。
如何為每個壓電傳感器設計過載維護有不同的過載范圍，所以無論你買什么樣的傳感器，你都必需曉得它有幾過載維護，以便未來能夠更便當地運用。由于過載，沒有電路燒壞。
壓電傳感器有多品種型，每種構造的過載維護設計辦法也不同。許多辦法都有各自的優缺陷。采用微機電系統技術的小量程高靈活度壓力傳感器通常有平膜片、島膜片、梁膜等構造，在設計過載維護時通常采用凸點等辦法完成。
構成辦法包括背蝕刻技術、硅直接鍵合技術和玻璃蝕刻技術。但是，這些構造通常具有很大的局限性，由于空腔尺寸大，靈活度進一步遭到限制，并且硅晶片的應用率降低，制造工藝的復雜性增加，并且消費本錢增加。
目前，小量程高靈活度壓電傳感器的研討主要集中在犧牲層構造的壓力傳感器上。這主要是由于犧牲層構造壓力傳感器的彈性膜片很薄，厚度能夠是2m以至更薄。
在這樣薄的構造中，假如采用擴散硅或多晶硅薄膜作為犧牲層構造壓力傳感器的應變電阻，其厚度相對較大，這對彈性膜片的應力散布有很大影響，不利于犧牲層構造壓力傳感器的性能優化。因而，經過運用多晶硅納米薄膜來制造應變電阻器，能夠進一步應用犧牲層技術的優點。
過載維護是每個傳感器都要思索的要素，由于在運用過程中，丈量值可能會大于范圍。只要設計有過載維護的傳感器才干更好地運用，并且能夠運用更長時間。
如何為每個壓電傳感器設計過載維護有不同的過載范圍，所以無論你買什么樣的傳感器，你都必需曉得它有幾過載維護，以便未來能夠更便當地運用。由于過載，沒有電路燒壞。
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